首页 >> 国内专家 >> 院士科学家 >> 工程院院士 >> 查看详情
吴汉明
吴汉明  吴汉明(195...
  吴汉明(1952.6.2-),男,微电子技术(集成电路制造)专家,江苏省常州市人。1987年毕业于中国科学院力学研究所,获博士学位。现任浙江大学微纳电子学院院长,曾任中芯国际集成电路制造有限公司技术研发副总裁。长期工作在我国集成电路芯片产业并做出突出贡献。主持、参加了包括国家重大专项在内的0.13微米至14纳米七代芯片大生产工艺技术研发,攻克了包括刻蚀等一系列关键工艺难点,与世界...
邀请讲课
18810194660 
http://www.gsyjy.cn/index.php/mstj.htmlgcyys/113291.html

联系方式

详细介绍

 

吴汉明(1952.6.2- ),男,微电子技术(集成电路制造)专家,江苏省常州市人。1987年毕业于中国科学院力学研究所,获博士学位。现任浙江大学微纳电子学院院长,曾任中芯国际集成电路制造有限公司技术研发副总裁。

长期工作在我国集成电路芯片产业并做出突出贡献。主持、参加了包括国家重大专项在内的0.13微米至14纳米七代芯片大生产工艺技术研发,攻克了包括刻蚀等一系列关键工艺难点,与世界先进水平差距明显缩小。用理论模型支持我国首台大生产等离子体刻蚀机研发。创建了设计IP核技术公共平台,支持芯片制造产业链协同发展。建立的非平衡态低温等离子体混合模型/整体模型作为教案被世界著名大学教科书采用。担任973项目首席科学家负责“量子点存储器和磁存储器技术研发”。发表著作论文116篇。授权发明专利67项。曾获得“北京学者”、“十佳全国优秀科技工作者” 和“全国杰出专业技术人才”等荣誉。作为主要成员,三次获国家科技二等奖,多次获省部科技奖。

2019年当选中国工程院院士。

上一篇:王耀南

下一篇:吴建平

X
微信咨询:新商界智库

截屏,微信识别二维码

微信号:18810194660

(复制微信号,添加好友)

  打开微信

微信号已复制,请打开微信添加咨询详情!